Точная очистка и поверхностьУход
Мы специализируемся на предоставлении профессиональных решений по очистке и обработке поверхности для передовых технологических процессов. Интегрируя ресурсы стратегических партнеров в отрасли, мы сотрудничаем для предоставления комплексной сервисной поддержки нашим клиентам. Наши партнеры обладают более чем 20-летним практическим опытом работы в области полупроводников, а команды оснащены техническими знаниями, охватывающими вплоть до 14-нм узла. Они способны надежно предоставлять услуги по очистке и обработке поверхности 8-дюймовых и 12-дюймовых пластин, включая такие процессы, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), травление и ионная имплантация.
Выступая в качестве сервисного моста, мы используем зрелые системы управления качеством наших партнеров и возможности оперативного обслуживания, чтобы помочь клиентам, производящим интегральные схемы и полупроводники, решать строгие задачи контроля качества и технологических процессов, обеспечивая эффективную и стабильную сервисную поддержку.
Практические примеры точной очистки
При тестировании образцов после прецизионной промывки уровень частиц и уровень остатков ионов металлов на поверхности должны соответствовать требованиям действующего 28-нм процесса.
-
До -
После
-
До -
После
-
До -
После
-
До -
После
Процесс прецизионной очистки и восстановления
-
Входной контроль
Входной контроль
Проверьте внешний вид, характеристики и повреждения.
-
Маскирование
Маскирование
Защищайте зоны, не-обрабатываемые при обработке, от коррозии.
-
Химическая очистка
Химическая очистка
Аккуратно удалите старые покрытия.
-
Полоскание/Замачивание
Полоскание/Замачивание
Устраните остатки химикатов чистой водой.
-
Маскирование
Маскирование
Защитите участки от пескоструйной обработки.
-
Пескоструйная обработка
Пескоструйная обработка
Отрегулируйте параметры для достижения целевой шероховатости.
-
Калибровка и проверка
Калибровка и проверка
Измерьте и откорректируйте размеры в соответствии со спецификациями.
-
Термическое напыление
Термическое напыление
Наносите износостойкие-покрытия с помощью дуги или плазмы.
-
Мойка под высоким-давлением
Мойка под высоким-давлением
Удалите крупные частицы с поверхности.
-
Ультразвуковая очистка
Ультразвуковая очистка
Выполните точную очистку для удаления мелких частиц.
-
Сушка в чистых помещениях
Сушка в чистых помещениях
Тщательно высушите компоненты в печи для чистых помещений класса 100.
-
Заключительная проверка
Заключительная проверка
Проведите комплексную проверку на предмет соблюдения требований.
-
Упаковка
Упаковка
Компоненты вакуумной упаковки по требованиям заказчика.
-
Аудит доставки
Аудит доставки
Проверьте количество и целостность упаковки.
-
Окончательная доставка
Окончательная доставка
Формируйте отчеты и доставляйте.
Возможности обслуживания
► 5000m2(55 000 кв. футов) чистая мастерская.
► Возможность обработки более 50000 штук в месяц.
► 365 дней непрерывного и эффективного обслуживания.
► Разные продукты, разные процессы.
►8 ведущих технологических линий, включающих технологии:
- Химическая очистка/очистка, Физическая очистка
- ARC-спрей, плазменное распыление, нанесение покрытия, текстурирование, вакуумная очистка и упаковка, капитальный ремонт и т. д.
Технические возможности
► Процесс: усовершенствованный процесс 14 нм
► Объем обслуживания: 4 дюйма, 6 дюймов, 12 дюймов полупроводниковых деталей.
► Процесс обслуживания: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Строгий контроль качества: технология очистки с высокой-стандартной точностью.