Мишени для распыления

Мишени для распыления используются в процессах физического осаждения из паровой фазы (PVD) для изготовления тонких пленок. В портфолио входят мишени из золота высокой-чистоты, мишени из платины и рутения, поддерживающие полупроводниковые устройства, электронные компоненты, датчики и функциональные покрытия.
Благодаря контролируемому уровню чистоты, управлению микроструктурой и прецизионному изготовлению мишеней материалы обеспечивают стабильные характеристики распыления и стабильные характеристики осаждения пленки в производстве микроэлектроники.

Отправить запрос

Основная продукция

Цели по золоту высокой-чистоты

Платиновые мишени

Рутениевые цели

Функции

Мы предоставляем мишени из драгоценных металлов с однородной внутренней микроструктурой, чтобы свести к минимуму образование частиц во время распыления, обеспечивая непрерывное и стабильное качество пленки.

Высокая чистота
Высокая плотность
Однородная зернистая структура

Стабильная производительность распыления
Хорошая консистенция пленки
Настраиваемые размеры и склеивание

Свойства материалов мишеней распыления

Категория	Описание
Материальные системы	Цели осаждения драгоценных металлов
Формы продукта	Плоские цели и индивидуальная геометрия
Системы сплавов	Материалы из золота, платины и рутения высокой-чистоты
Производительность	Стабильный процесс распыления с надежным качеством пленки и адгезией
Процессы	Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
Контроль размеров	Прецизионная формовка с контролируемыми допусками
Формат поставки	Стандартные размеры и персонализация-на основе оборудования

Применение материалов для мишеней распыления в различных отраслях промышленности

Полупроводники и микросхемы:Используется для нанесения проводящих слоев, барьерных слоев и затравочных слоев при изготовлении пластин.
Магнитные носители информации:Мишени из рутения (Ru) в основном применяются при изготовлении подложек для носителей магнитной записи и жестких дисков.
Датчики и МЭМС:Мишени из платины (Pt) и золота (Au) подходят для нанесения тонких-пленок на сенсорные электроды, МЭМС и компоненты прецизионного тестирования.
Оптоэлектронные устройства:Используется для металлизации покрытий и нанесения электродов в оптических компонентах и светоизлучающих-устройствах.
Прецизионные электронные компоненты:Соответствует производственным требованиям к поверхностной проводимости, защите и функциональным покрытиям на многих электронных компонентах.